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洁净门洁净空间的温湿度
- 2019-09-24-

洁净门洁净空间的温湿度主要根据工艺要求确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑人的舒适性。随着空气洁净度要求的提高,对温度和湿度的要求越来越严格。

具体的工艺对温度的要求将在后面列出,但作为一般原理,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求也越来越小。例如,在大规模集成电路生产的光刻曝光过程中,作为掩模材料的玻璃与硅片的热膨胀系数之差越来越小。当温度升高一度时,直径为100um的硅片会引起0.24um的线性膨胀。因此,需要有一个恒定的温度(+0.1度)和湿度值一般较低,因为产品出汗后会受到污染,特别是在半导体车间怕钠。这种工作间不应超过25度。

湿度过大会引起更多的问题。当相对湿度超过55%时,冷却水管壁会发生冷凝。如果发生在精密器件或电路中,会引起各种事故。相对湿度为50%时容易生锈。另外,湿度过高时,附着在硅片表面的灰尘会被空气中的水分子化学吸附在硅片表面,很难去除。相对湿度越高,去除附着力越困难。但当相对湿度小于30%时,由于静电的作用,颗粒很容易被吸附在洁净门表面。同时,大量半导体器件容易发生击穿。硅片生产的佳温度范围为35-45%